מאָדעל | W200 | W300 |
מעסטן קייט (מם) | 200*100*200 | 300*200*200 |
מאַשין גרייס (מם) | 950*845*1285 | 1050*845*1285 |
וואָג (קג) | 150 | 190 |
מאַקסימום מאַסע (קג) | 20 | 20 |
אַקיעראַסי פון XY אַקס | 3+L/200 卩 עם | |
אַקיעראַסי פון ז אַקס | 5+L/200 卩 עם | |
XYZ האַכלאָטע | 1 .אָפּם (אָפּציע 0.5um, 0.1um וואָג) | |
רעפּעאַטאַביליטי (מם) | 0.003 | |
לינעאַר ענקאָדער | גלאז לינעאַר וואָג | |
אַפּאַראַט טיפּ | SBK-HC536 1/3 אינטשעס 600 שורות אינדוסטריעלע קאָליר אַפּאַראַט | |
לייַנער פירער | ז אַקס: טייוואַן "היווין" פּ מיינונג לינעאַר גיידוויי; XY נוצן "V" טיפּ לינעאַר גיידוויי | |
אָפּטיקס | 6:5:1 קעסיידערדיק פארגרעסער שריט אָביעקטיוו | |
פאַרגרעסערונג | אָפּטיק פארגרעסער פאַרהעלטעניש: 0.7-4.5X; בילד פארגרעסער פאַרהעלטעניש: 24-158X | |
ווייכווארג | SBK-E מאַנואַל 2.5ד מאָס ווייכווארג | |
קאָנטראָל סיסטעם | SBK3000 קאָנטראָל קעסטל, וסב פּאָרט, אַדזשאַסטאַבאַל ליכט | |
פּראָפיל ילומאַניישאַן | געפירט קאַלט לייטינג, פּראָוגראַמאַבאַל ברייטנאַס אַדזשאַסטמאַנט פון 256 מדרגה | |
ייבערפלאַך ילומאַניישאַן | געפירט קאַלט לייטינג מיט סעגמענטעד פרייַ קאָנטראָל&256מדרגה פּראָוגראַמאַבאַל ברייטנאַס אַדזשאַסטמאַנט | |
Onpratpd mcdp | שעפּן ראָד | |
אָפּציע מיטל | 0.5X.2X פאַרברייטערן אָביעקטיוו |